传统电子碰撞离子源

尼尔型电子碰撞离子源由电子枪，电离室和离子光学系统组成（图12-3）。电离室中的气体分子通过热阴极发射的电子的碰撞而被电离。电子通过阴极和缝隙S2之间的电位差而加速，并通过准直缝隙S1和S2进入电离室。缝隙的宽度为1毫米。电子束被相对于电离室具有正电势的电子收集器接收。电子收集器和狭缝S3之间的正电势防止二次电子进入电离室。 10 ^ -2T的弱磁场用于使电子束准直，从而电子束的宽度不发散，从而保持z *的能量色散较小。为了使结构简单，低分辨率和中等分辨率的真空分析仪的离子源通常不使用外部磁场。在渗透到电离室中的加速电压的负穿透场和推斥极的正电场的共同作用下，将离子从电离室中抽出。离子加速电压与分析仪的类型有关。例如，四极质谱仪约为10V，而飞行时间质谱仪的加速电压约为3000V。常用的阴极材料是钨丝。然而，其缺点是工作温度高，发射稳定性差，并且在高温操作后机械性能变脆。为了提高阴极发射的稳定性并在重新组装期间保持机械强度，可以使用钨马士革，rh丝或rh丝。另外，为了减少由阴极进行的气体的热分解所引起的测量误差，除了使阴极远离电离室之外，还需要降低氧化or-钨阴极或六硼化镧，dash的工作温度。阴极也可以使用。氧化钇-铱阴极具有抗中毒的优点，并允许在短时间的热状态下暴露于大气，并且适用于高压离子源。